经过一段时间的运行，随着工作时间的积累，超纯水装置的EDI模块需要进行ro膜离线清洗消毒，以水的纯度和设备的长期使用。
物理清洗是利用高速水流或空气和水来冲洗膜表面。该方法具有不引入新污染物、清洗步骤简单的特点，但对早期污染膜，清洗效果不持久。常见的物理清洗方法通常有低压高流速清洗、反向清洗及这两种。
反向ro膜离线清洗是指通过在膜的渗透性液体的一侧施加压力来逆转膜穿过膜的渗透。该方法一方面可以去除膜孔堵塞的污染物，另一方面也对侧膜附着层有一定的清洗作用。所谓膜负压清洗，是指在膜的功能面上产生负压，即在大气压力以下的压力下，膜和膜内部的污染物脱落。这种方法的一般特点是清洗膜组件连接到真空泵，低于大气压力的压力引起的表面成膜的功能，与细胞膜的另一侧的气压，这样通过液体逆流通过膜和膜孔内的清洁污染物，这就是反向ro膜离线清洗有异同。
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